臭氧分析儀采用原電池微庫侖原理制造。儀器具有靈敏度高、測量快速、穩(wěn)定等特點。是分析大氣中臭氧含量的儀器、低濃度臭氧分析儀適用于對環(huán)境大氣濃度的監(jiān)測及臭氧發(fā)生源，例如：負離子發(fā)生器、復印機、臭氧消毒柜、臭氧空氣消毒設(shè)備、醫(yī)用臭氧消毒設(shè)備等的臭氧泄漏狀況進行監(jiān)測、高濃度臭氧分析儀適用于臭氧發(fā)生器制造企業(yè)檢測產(chǎn)品的臭氧發(fā)生濃度，各衛(wèi)生防疫部門對臭氧殺菌消毒產(chǎn)品的檢測。
化學檢測法：
1、碘量法：碘量法是常用的臭氧測定方法，我國和許多國家均把此法作為測定氣體臭氧的標準方法，我國建設(shè)部發(fā)布的《臭氧發(fā)生器臭氧濃度、產(chǎn)量、電耗的測量》標準CJ/T30282—94中即規(guī)定使用碘量法。其原理為強氧化劑臭氧與碘化鉀水溶液反應生成游離碘，臭氧還原為氧氣。
2、比色法：比色法是根據(jù)臭氧與不同化學試劑的顯色或脫色反應程度來確定臭氧濃度的方法，按比色手段分為人工色樣比色與光度計色，此法多用于檢測水溶解臭氧濃度。
國內(nèi)檢測瓶裝水臭氧溶解濃度有使用碘化鉀等比色液的，其方式是利用檢測樣品顯色液管相比較，確定測樣臭氧溶解度值，要求準確的，則利用分光光度計檢測。
3、檢測管：將臭氧氧化可變化試劑浸漬在載體上，作為反應劑封裝在標準內(nèi)徑的玻璃管內(nèi)做成測管，使用時將檢測管兩端切斷，把抽氣器接到檢測管出氣端吸取定量臭氧氣體，臭氧濃度與檢測管內(nèi)反應劑柱變色長度成正比，通過刻度值讀取濃度值。德國、日本和我國都生產(chǎn)臭氧檢測管，濃度范圍分為高（1000ppm）、中（10ppm）、低（3ppm）三種，用于檢測空氣臭氧濃度，適于現(xiàn)場應用，使用簡便，但精度低（為±15%）。
物理方法：
物理方法分析臭氧在上流行的是紫外線吸收法。它是利用臭氧對254nm波長的紫外線特征吸收的特性，依據(jù)比爾—郎伯定律制造出的分析儀器，只要選擇合適長度的吸收池，就可以檢測0.002mg/m3—5%（vol）濃度的臭氧。其線形在4—5個數(shù)量級內(nèi)都很好，該法已被我國作為環(huán)境空氣中測定臭氧的標準方（GB1/T1154348）。
紫外線吸收法不但可以適用于檢測氣體中臭氧濃度，也可以檢測水中溶存的臭氧濃度。
